深圳技术大学教学线器件图形化结构制作设备意向公开

采购单位:	深圳技术大学
项目名称:	教学线器件图形化结构制作设备
预算金额（元）:	3,**,**.**
采购品目:	其他仪器仪表
采购需求概况:	1、 接触式双面光刻机1.1 曝光面积：6英寸；1.2 光源：紫外LED，曝光波长：**nm：**-**mW/cm2；1.3 分辨率：1um；对准精度：±1.5um（双面，片厚0.8mm）±0.8um（单面）2、洁净烘箱2.1 容 积（L）：**LX2双腔体；2.2 温度：RT **～ **℃多段程序控制。3、匀胶烘胶一体机3.1 集成匀胶机及可编程热板一体化设备； 3.2 匀胶机样品尺寸支持6英寸（**mm）圆晶及以下尺寸或碎片。含碎片、2英寸、4英寸、6英寸、碎片托盘各一个；3.3 转速范围：**-**RPM，转速精度及重复性：±1RPM；单步转动时间设置范围：0-**S，旋转时间分辨率：1S；3.4 热板可编程，样品尺寸：为6英寸（**mm）圆晶及以下尺寸或碎片；控制温度：室温-**℃。4、显影烘胶一体机4.1 集成显影机及可编程热板一体化设备；4.2 显影机样品尺寸：支持6英寸（**mm）圆晶及以下尺寸或碎片，含碎片、2英寸、4英寸、6英寸铝合金托盘各一个；4.3 转速范围：**-**RPM，转速精度及重复性：±2RPM；单步转动时间设置范围：0-**S，旋转时间分辨率：1S；4.4 自动显影：2路显影液供给管路，1路DIW供给，1路N2；4.5 可编程热板样品尺寸：为6英寸（**mm）圆晶及以下尺寸或碎片；控制温度：室温-**℃，温度均匀性：±1.5℃@**mm范围。5、有机清洗台5.1 超声槽槽体材质：内槽：石英；外槽：SUS**；管件材质：PFA/CPVC；溶液温度：RT-**±2℃；5.2 QDR槽槽体材质：聚丙烯（NPP）；管件材质：PFA/CPVC；溶液温度：RT； 5.3 水洗槽槽体材质：聚丙烯（NPP）；管件材质：PFA/CPVC；溶液温度：RT；6、冷藏柜6.1 体积大于**L；6.2 温控范围8-**度，带高温报警系统。7、氮气柜7.1 控湿范围：1%RH～**%RH 全自动；7.2 体积≥**L。8、双腔甩干机8.1 两个甩干腔室,1个4寸旋转台，1个6寸旋转台；8.2 转速可设置范围：**-**RPM； 时间可设置范围：**秒；8.3 基片适用范围：**mm-**mm。9、感应耦合等离子体刻蚀机9.1 样片尺寸：6英寸样品台，兼容4英寸及以下尺寸样品刻蚀；9.2 本底真空：工艺腔本底真空≤7.6×**-3Pa；9.3 气路系统：配置6路工艺气体（Cl2、BCL3、SF6或CF4、CHF3、O2、Ar） 1路背He；9.4 电源系统：**w射频功率源，自动匹配；不小于**W偏压源，自动匹配；9.5 工艺指标：刻蚀速率Si≥**nm/min；刻蚀不均匀性≤±5%@6英寸（EE8-**mm）。 **、去胶机**.1 样片尺寸：6英寸样品及向下兼容；**.2 真空系统：极限真空＜3Pa；**.3 气路系统：标配2路进气O2和Ar；**.4 电源系统：**w@**.**MHz射频功率源。**、湿法腐蚀台**.1 样品尺寸，6寸/1篮/批；**.2 1号槽为铝刻蚀槽，3号槽为铬刻蚀槽，5号槽为BOE槽， 2/4/6槽为QDR槽；槽体材质1/3/5槽为聚偏氟乙烯（PVDF）, 2/4/6槽为聚丙烯（NPP）；**.3 温度控制：1号槽独立温控器，溶液温度为**-**℃±0.5℃，加热/冷却方式为恒温机；5号槽独立温控器，溶液温度为RT-**±2℃。
联系人:	(略)
联系电话:	(略)-(略)
预计采购时间:	**-**
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准